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  • 濺射設備:SME-200 SME-200
    全自動(dòng)多工藝對應用最大搭載7個(gè)工藝腔的濺射設備,可實(shí)現多種類(lèi)材料濺射,諸如高溫成膜(PZT等)、高精度側壁成膜、光學(xué)膜、化合物膜、合金膜等…
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  • 刻蝕設備:INE-3085 INE-3085
    面向LED、Powerdevice、MEMS等諸多領(lǐng)域開(kāi)發(fā),搭載靜電吸附系統,采用更大的靜電托盤(pán),較常規設備擁有更高的刻蝕速率和更大的產(chǎn)能。同時(shí)搭載ULVAC專(zhuān)利的…
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  • PECVD:CX-500z CX-500z
    在真空條件下,通過(guò)射頻放電,讓氣體活化發(fā)生化學(xué)反應,在基板表面沉積形成薄膜。成膜種類(lèi):SiO2,SiNx ,SiON。等離子增強型,膜質(zhì)好,均勻性高,L…
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