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  • 濺射設備:CS-200z CS-200z
    在真空條件下,氬氣在DC或RF作用下產(chǎn)生氬離子,高能的氬離子撞擊靶材 產(chǎn)生濺射。濺射出的原子或分子離開(kāi)靶材,沉積在基板表面,形成薄膜。成膜種…
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  • 濺射設備:SME-200 SME-200
    全自動(dòng)多工藝對應用最大搭載7個(gè)工藝腔的濺射設備,可實(shí)現多種類(lèi)材料濺射,諸如高溫成膜(PZT等)、高精度側壁成膜、光學(xué)膜、化合物膜、合金膜等…
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  • 濺射設備:ULDIS系列 ULDIS系列
    1.對于光學(xué)薄膜的濺射裝置烏爾迪斯布系列,間模式?在數字濺射裝置進(jìn)化技術(shù),實(shí)現了光學(xué)薄膜的一個(gè)更高的質(zhì)量。 2.與美國JDS Uniphase達成新的許可協(xié)…
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  • 濺射設備:SIV-500 SIV-500
    用于particle抑制的通過(guò)型豎直濺射,可實(shí)現基板往復或line式搬送,多用于SiO、SiN等光學(xué)薄膜濺射,亦可用于金屬濺射。
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